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Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型蒸鍍儀KT-Z1650PVD高純度金顆粒蒸鍍儀
高純度金顆粒蒸鍍儀KT-Z1650CVD是我公司專為科研院所及實驗室用戶群體設(shè)計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。蒸發(fā)源可兼容金屬、有機(jī)物蒸發(fā)、金屬粉末等。配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達(dá)到及時遮擋樣品效果;觸摸屏控制,操作簡單,更有工藝儲存等功能。采用電子束蒸鍍金膜時,會有微小的黑色顆粒出現(xiàn)在金膜的表面,這些黑色的顆粒形狀大多不規(guī)則,尺寸集中在100 nm~-1μm之間。
品牌 | 鄭科探 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子 |
高純度金顆粒蒸鍍儀
采用電子束蒸鍍金膜時,會有微小的黑色顆粒出現(xiàn)在金膜的表面,這些黑色的顆粒形狀大多不規(guī)則,尺寸集中在100 nm~-1μm之間,傳統(tǒng)的蒸鍍理論較難解釋這些黑色顆粒的成因。本文嘗試提出液態(tài)金屬表面熱發(fā)射電子引起液面上雜質(zhì)顆粒"放電"的理論來解釋這一現(xiàn)象。這類電暈放電造成顆粒附近溫度*,瞬間將顆粒蒸發(fā)沉積在襯底。通過改變蒸鍍功率,或保持功率不變,改變電子束斑點形狀、落點位置等一系列實驗,驗證了理論的合理性。
分別用鎢坩堝和玻璃碳涂層坩堝蒸鍍金膜,采用EDS分析金膜表面黑色顆粒的主要成分.對比金膜表面黑色顆粒分布的密度;根據(jù)兩種坩堝蒸金膜時的物理學(xué)特征不同,研究黑色顆粒產(chǎn)生的機(jī)理,解釋碳玻璃涂層坩堝蒸金黑色顆粒較多的原因;并利用玻璃碳坩堝采取不同的工藝條件進(jìn)行對比試驗,成功減少了金膜表面的黑色顆粒,為教學(xué)實驗、真空鍍膜工藝和集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域蒸鍍高質(zhì)量的金膜提供幫助.
-熱蒸發(fā)源:電阻式熱蒸發(fā)舟,交流電源、坩堝蒸發(fā);
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腔體:不銹鋼或石英腔體可供客戶選擇;
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泵:前級干泵,分子泵;
- Load Lock
樣品傳輸腔室:手動或自動傳輸,高真空,支持多種樣品襯底(選配);
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工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動控制、數(shù)據(jù)處理、工藝記憶儲存;
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襯底固定:單襯底固定,客戶化襯底固定方式;
- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;
- 保護(hù)樣品:配有樣品擋板,可手動或自動開/關(guān)擋板,達(dá)到及時遮擋樣品效果;
高純度金顆粒蒸鍍儀KT-Z1650CVD技術(shù)資料
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 | 數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
最大功率 | ≤1200W |
最大輸出電壓電流 | 電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (最大可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 | 70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) | ≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 | 鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 | 機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |